冷冻机工作原理：通常在高真空腔内，水气分子是最典型的污染气体，占腔内残余气体 65% 到 95% ，当真空度达到 10-4 mbar 时，水汽分子会非常难抽，为了快速的达到较高的真空度， 研发出水汽深冷泵，快速吸附真空腔内的水汽，辅助抽真空，极短的时间达到10-8 mbar 高真空。

Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速闭环水气深冷泵-冷冻机，通过使用专利的 无毒环保型冷媒，利用麦斯纳（Meissner）吸收原理，使水气分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上凝结从而被捕集。低温盘管可直接安装在真空腔中，根据客户腔体定制。

应用：真空镀膜(溅镀、蒸镀)一般使用油扩散泵抽真空，腔体内会残留大量水汽和油蒸汽，不但影响抽真空的时间，水汽和油蒸汽还是镀膜工件主要的污染源，从而影响镀膜产品的产量和质量， 冷冻机在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，真空抽气时间缩短 75%，企业产能可增加 20% 到 100%！

冷冻机利用新型无毒环保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷冻法。与传统 LN2 冷却法对比，冷媒可循环使用，更加降低了企业成本。
组成：

A： 冷冻机主机（铜环和轮子可以选配，方便运输）

B：外部冷凝管(外部连接管)

C：Feedthrough

D：真空腔

E：冷盘(低温盘管)